不同厚度铁电薄膜的制备及15 nm Hf0.5Zr0.5O2铁电晶体管性能研究#br#

肖金盼, 袁晓博, 刘宗芳, LEE Choonghyun, 赵　毅

智能物联技术 ›› 2024, Vol. 56 ›› Issue (2) : 29-37.

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基础研究

不同厚度铁电薄膜的制备及15 nm Hf0.5Zr0.5O2铁电晶体管性能研究#br#

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Preparation of Ferroelectric Films with Different Thicknesses and Research on the Performance of 15 nm Hf0.5Zr0.5O2 Ferroelectric Field 

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